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電子半導體車間空氣過濾器方案

電子半導體車間空氣過濾器解決方案半導體車間空氣凈化工程目標是建立一個潔凈無塵的工作環(huán)境,防止空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等。半導體生產流水線上的半成品和成品造成

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電子半導體車間空氣過濾器方案

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電子半導體車間治理背景:

電子半導體車間空氣過濾器解決方案半導體車間空氣凈化工程目標是建立一個潔凈無塵的工作環(huán)境,防止空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等。半導體生產流水線上的半成品和成品造成污染,傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器,整個地面為回風柵板。如今AstroFanFFU風機過濾單元使用自帶風機的過濾裝置,解決了繁復的安裝和性價比問題,是目前市場上一種最安靜、價格優(yōu)良的機組,為潔凈室輸送高質里的循環(huán)空氣。領先的晶圓設備,微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導體產業(yè)首要擔心的問題。不能很好的在潔凈室或設備中控制微?;駻MC將大大的削弱企業(yè)的經營利閏。潔凈室的最主要的問題是產品、工具、加工過程和氣味控制的污染。半導體車間空氣凈化通常由:初效過濾器/中效過濾器/高效過濾器三級空氣過濾的空調送風回風和排風系統、動力及照明系統、工作環(huán)境參數的監(jiān)測報警消防、通訊系統、人流和物流系統、工藝管路系統等部分組成。

電子半導體車間治理方案的描述:

傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器,整個地面為回風柵板。如今AstroFanFFU風機過濾單元使用自帶風機的過濾裝置,解決了繁復的安裝和性價比問題,是目前市場上一種最安靜、價格優(yōu)良的機組,為潔凈室輸送高質里的循環(huán)空氣。用途:半導體車間空氣凈化工藝廣泛應用于硅電子、收音機、電視機、電腦、家用電器等行業(yè)生產車間的空氣凈化。

 

電子半導體車間解決方案:

污染物 來源 引發(fā)問題 解決方案
粉塵 空氣

造成集成電路斷路、短路,影響成品率

 

化學過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU

 

NTH3,NMP

 

外氣

“T-top“現象

 

化學過濾模塊

 

電子半導體車間空氣過濾器解決方案半導體車間空氣凈化工程目標是建立一個潔凈無塵的工作環(huán)境,防止空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等。半導體生產流水線上的半成品和成品造成污染,傳統的通風形式是在車間的整個天花板上布滿高效過濾器,整個地面為回風柵板。如今AstroF an FFU風機過濾單元使用自帶風機的過濾裝置,解決了繁復的安裝和性價比問題,是目前市場上一種最安靜、價格優(yōu)良的機組,為潔凈室輸送高質里的循環(huán)空氣。

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